美國TEM過濾器是一款專門用于過濾超高壓半導(dǎo)體氣體。這所有焊接組件將提供0.003微米顆粒需要高流速和空間的保留這是有限的。聚四氟乙烯膜和全氟聚合物支架該結(jié)構(gòu)封閉在316L不銹鋼電拋光焊接外殼內(nèi)。最后的裝配用清洗劑清洗過濾氮氣用于初始清潔度。
應(yīng)用：
1、高流量超高純度惰性氣體和特殊氣體氣體；
2、半導(dǎo)體、TFT平板顯示器、硅晶圓制造、光伏/太陽能工藝氣體。
美國TEM過濾器性能特點介紹如下：
1、壽命長：新型塑料過濾元件堅固、無磨損、無腐蝕、極少結(jié)垢，經(jīng)多年工業(yè)實用驗證，使用6~10年也沒有磨損，不會老化，過濾和反洗效果不會因使用時間而變差；
2、高質(zhì)量，維護量少：產(chǎn)品符合相應(yīng)質(zhì)量標準，所有產(chǎn)品在出廠前均經(jīng)模擬工況檢測和試運轉(zhuǎn)，不需專用工具，零部件很少；易于使用，僅需定期檢查，幾乎不需日常維護；
3、標準模塊化，節(jié)省占地：系統(tǒng)基于標準盤式過濾單元，按模塊化設(shè)計，用戶可按需取舍，靈活可變，互換性強。系統(tǒng)緊湊，占地極小，可靈活利用邊角空間進行安裝，如處理水量300m3/h左右的設(shè)備占地僅約6m2；
4、全自動運行，連續(xù)出水：在過濾器組合中的各單元之間，反洗過程輪流交替進行，工作、反洗狀態(tài)之間自動切換，可確保連續(xù)出水；反洗耗水量極少，只占出水量的0.5%；如配合空氣輔助反洗，自耗水更可降到0.2%以下。高速而*的反洗，只需數(shù)十秒即可完成；
5、高效，精確過濾：特殊結(jié)構(gòu)的濾盤過濾技術(shù)，性能精確靈敏，確保只有粒徑小于要求的顆粒才能進入系統(tǒng)，是*的過濾系統(tǒng)；規(guī)格有5μ、10μ、20μ、55μ、100μ、130μ、200μ等多種，用戶可根據(jù)用水要求選擇不同精度的過濾盤。系統(tǒng)流量可根據(jù)需要靈活調(diào)節(jié)。
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